利用平行光檢查燈在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微粒particle
瀏覽次數(shù)：2274發(fā)布日期：2021-11-24
利用LUYOR-3320平行光檢查燈在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微粒(PARTICLE)
很多行業(yè)的元器件，如半導(dǎo)體元器件、光學(xué)鏡頭、液晶面板等在制造過(guò)程中，空氣中不允許有過(guò)多的灰塵顆粒；對(duì)于制造中的某些步驟，例如半導(dǎo)體，在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過(guò)程中，由于空氣中的顆粒會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量并造成重大損失。在潔凈室中進(jìn)行微粒檢查的工作是必要的。
盡管潔凈室非常干凈，但是，潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對(duì)流外，這些灰塵可能來(lái)自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產(chǎn)生。(例如來(lái)自皮膚表面的死皮細(xì)胞)。
在潔凈室中，一些沒(méi)有氣流的區(qū)域(死點(diǎn))會(huì)慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾，這些空氣中的微塵會(huì)直接落到產(chǎn)品或工作人員身上，而不會(huì)被粒子計(jì)數(shù)器感應(yīng)到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內(nèi)的空氣中漂浮。當(dāng)它們因靜電或極性聚集在一起時(shí)，很難將粘性灰塵吹到排氣口。
對(duì)于這種吸附的顆粒，不僅空氣過(guò)濾器的收集效率低，而且粒子計(jì)數(shù)器也難以感應(yīng)，而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上，可能會(huì)影響產(chǎn)量。(路徑越細(xì)，影響越大。)
如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒，就無(wú)法有效地清潔灰塵，從而造成損失。因此，在潔凈室中，如果可以使用特定波長(zhǎng)的檢測(cè)工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320，就能有效檢測(cè)產(chǎn)品上的粘塵，從而降低不良率。
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