厭氧高溫氣氛爐
日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
C1-007（溫度600℃、氧濃度20ppm）
● 用途：電子無(wú)器件高溫處理工藝
● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
● 程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等
● 在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓?、氮?dú)饬髁慨惓！⑦^電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置
C1-008（溫度500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm）
● 用途：光刻工藝后段，光刻膠固化
● 高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度20ppm以下
● 程序運(yùn)轉(zhuǎn)功能，有自動(dòng)/手動(dòng)兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時(shí)可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動(dòng)門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計(jì)等全不銹鋼材質(zhì)
● 在安全方面，配置了自動(dòng)過升防止、過升防止器、氮?dú)鈮毫Ξ惓?、氮?dú)饬髁慨惓?、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置
日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | C1-007 |
| 溫度范圍 | 室溫+30～360℃ 室溫+50～600℃ |
| 溫度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（at 600℃） |
| 溫度上升時(shí)間 | 60min（室溫→360℃） 90min（室溫→600℃） |
| 溫度下降時(shí)間 | 90min（360℃→50℃） 120min（600℃→50℃） |
| 氧濃度 | 20ppm以下 |
| 氧濃度下降時(shí)間 | 約45分鐘 |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)功能 | 定值運(yùn)轉(zhuǎn)、程序運(yùn)轉(zhuǎn) |
| 裝備 | 氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等 |
| 內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm |
| 電源 | 3相 AC380V |
| 型號(hào) | C1-008 |
| 溫度范圍 | 室溫+30～360℃ 室溫+50～500℃ |
| 溫度分布精度 | ±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（a500℃） |
| 溫度上升時(shí)間 | 60min（室溫→360℃） 90min（室溫→500℃） |
| 溫度下降時(shí)間 | 90min（360℃→50℃） 120min（500℃→50℃） |
| 氧濃度 | 20ppm以下 |
| 氧濃度下降時(shí)間 | 約45分鐘 |
| 潔凈度 | 100級(jí) |
| 裝備 | 氮?dú)鈱?dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計(jì)等 |
| 內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm |
| 電源 | 3相 AC380V |
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